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　　本申请涉及洁净厂房洁净空调技术领域，尤其涉及一种洁净室循环空气处理系统。洁净室循环空气处理系统采用洁净空气处理机组，洁净空气处理机组为风机和干式表冷器组合成的一体式空调机组，洁净空气处理机组设置于上技术夹层内气流经过的部位或下技术夹层内气流经过的部位或回风夹道内气流经过的部位，以用于对经过洁净空气处理机组的空气进行降温处理。本申请中的洁净室循环空气处理系统，不仅可以提高干式表冷器断面气流的均匀性和制冷效率，也可以降低洁净室内的噪音。

　　1.一种洁净室循环空气处理系统，其特征在于，包括上技术夹层、洁净室、下技术夹层、

　　所述洁净空气处理机组设置于所述下技术夹层内气流经过的部位或所述回风夹道内

　　气流经过的部位或所述上技术夹层内气流经过的部位，所述洁净空气处理机组包括风机和

　　2.根据权利要求1所述的洁净室循环空气处理系统，其特征在于，所述洁净空气处理机

　　组还包括过滤器，所述过滤器用于对经过所述洁净空气处理机组的空气进行过滤处理。

　　3.根据权利要求2所述的洁净室循环空气处理系统，其特征在于，所述洁净空气处理机

　　组包括多个风机、多个干式表冷器和多个过滤器，其中，所述多个风机、所述多个干式表冷

　　所述洁净空气处理机组还包括与所述多个风机一一对应的多个壳体，一组所述风机、

　　所述干式表冷器和所述过滤器设置于对应的所述壳体内，多个所述壳体之间拼接以使多个

　　4.根据权利要求2所述的洁净室循环空气处理系统，其特征在于，所述洁净室的吊顶设

　　有板孔送风口或散流器或百叶风口，所述上技术夹层通过所述板孔送风口或所述散流器或

　　5.根据权利要求1所述的洁净室循环空气处理系统，其特征在于，还包括高效过滤器，

　　6.根据权利要求5所述的洁净室循环空气处理系统，其特征在于，所述洁净空气处理机

　　组包括多个风机和多个干式表冷器，所述多个风机和所述多个干式表冷器一一对应设置；

　　所述洁净空气处理机组还包括与所述多个风机一一对应的多个壳体，一组所述风机和

　　所述干式表冷器设置于对应的所述壳体内，多个所述壳体之间拼接以使多个所述壳体之间

　　7.根据权利要求5所述的洁净室循环空气处理系统，其特征在于，所述高效过滤器为多

　　8.根据权利要求1所述的洁净室循环空气处理系统，其特征在于，当所述洁净空气处理

　　机组设置于所述回风夹道时，所述洁净空气处理机组与所述回风夹道的高度方向之间具有

　　[0001]本申请涉及洁净厂房洁净空调技术领域，尤其涉及一种洁净室循环空气处理系

　　[0002]电子厂房采用的洁净室循环空气处理系统通常采用干式表冷器加风机过滤器机

　　组的处理形式，风机过滤单元将上技术夹层内的空气经过高效过滤器处理后送入洁净室

　　内，空气通过回风夹道或下技术夹层经干式表冷器降温处理后与经过洁净新风组处理的新

　　[0003]现有的洁净室循环空气处理系统中，经过干式表冷器的气流组织不均匀，导致干

　　式表冷器的制冷效率较低。另外，由于在上技术夹层内设置风机过滤单元，风机过滤单元的

　　[0004]本申请提供了一种洁净室循环空气处理系统，不仅可提高干式表冷器断面气流的

　　[0005]为了达到上述目的，本申请提供一种洁净室循环空气处理系统，包括上技术夹层、

　　洁净室、下技术夹层、用于连通所述上技术夹层和所述下技术夹层的回风夹道以及洁净空

　　[0006]所述洁净空气处理机组设置于所述下技术夹层内气流经过的部位或所述回风夹

　　道内气流经过的部位或所述上技术夹层内气流经过的部位，所述洁净空气处理机组包括风

　　[0007]本申请提供的洁净室循环空气处理系统，设置了洁净空气处理机组，洁净空气处

　　理机组为将风机和干式表冷器组合成的一体式空调机组，以用于对空气进行输送和降温处

　　理。风机可对经过的空气进行导流，从而使得经过干式表冷器的气流垂直于干式表冷器，并

　　且速度均匀，从而提高了干式表冷器的制冷效率。洁净空气处理机组可设置于下技术夹层

　　内气流经过的部位或者回风夹道内气流经过的部位或者上技术夹层内气流经过的部位，可

　　使得洁净空气处理机组设置在远离洁净室工作区的地方，从而能够降低洁净室的噪音，使

　　[0008]在一些可能的实施方案中，所述洁净空气处理机组还包括过滤器，所述过滤器用

　　[0009]在一些可能的实施方案中，所述洁净空气处理机组包括多个风机、多个干式表冷

　　器和多个过滤器，其中，所述多个风机、所述多个干式表冷器和所述多个过滤器一一对应设

　　[0010]所述洁净空气处理机组还包括与所述多个风机一一对应的多个壳体，一组所述风

　　机、所述干式表冷器和所述过滤器设置于对应的所述壳体内，多个所述壳体之间拼接以使

　　[0011]在一些可能的实施方案中，所述洁净室的吊顶设有板孔送风口或散流器或百叶风

　　口，所述上技术夹层通过所述板孔送风口或所述散流器或所述百叶风口与所述洁净室连

　　[0012]在一些可能的实施方案中，还包括高效过滤器，所述高效过滤器设置于所述上技

　　[0013]在一些可能的实施方案中，所述洁净空气处理机组包括多个风机和多个干式表冷

　　[0014]所述洁净空气处理机组还包括与所述多个风机一一对应的多个壳体，一组所述风

　　机和所述干式表冷器设置于对应的所述壳体内，多个所述壳体之间拼接以使多个所述壳体

　　[0015]在一些可能的实施方案中，所述高效过滤器为多个，多个所述高效过滤器间隔设

　　[0016]在一些可能的实施方案中，当所述洁净空气处理机组设置于所述回风夹道时，所

　　述洁净空气处理机组与所述回风夹道的高度方向之间具有0～90°之间的夹角。

　　[0017]图1为本申请实施例中洁净室循环空气处理系统的一种结构示意图；

　　[0021]图5为本申请实施例中洁净室循环空气处理系统的又一种结构示意图；

　　[0027]10‑上技术夹层；20‑洁净室；30‑下技术夹层；40‑回风夹道；50‑洁净空气处理机

　　组；501‑洁净空气处理单元；51‑风机；52‑干式表冷器；53‑过滤器；54‑壳体；60‑高效过滤

　　[0028]下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完

　　整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于

　　本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他

　　[0029]参考图1，本申请实施例中的洁净室循环空气处理系统包括上技术夹层10、洁净室

　　20、下技术夹层30以及回风夹道40，回风夹道40用于将上技术夹层10和下技术夹层30连通。

　　本实施例中的洁净室循环空气处理系统还包括洁净空气处理机组50，该洁净空气处理机组

　　50可对洁净室循环空气处理系统内循环的空气进行输送和降温处理，或者也可对空气进行

　　[0030]在一些实施例中，结合图1和图2所示，本实施例中的洁净空气处理机组50包括风

　　机51和干式表冷器52，风机51可对洁净室循环空气处理系统内流动的空气进行导流，从而

　　使得空气能够经过干式表冷器52，以便于干式表冷器52对空气进行降温处理。本实施例中

　　的洁净空气处理机组50为风机51和干式表冷器52组合成的一体式空调机组，其可设置于上

　　技术夹层10内气流经过的部位(图1中C处)或者下技术夹层30内气流经过的部位(图1中B

　　处)或者回风夹道40内气流经过的部位(图1中A处)，均可起到对空气降温处理的效果。

　　[0031]此外，如图1所示，本实施例中的洁净室循环空气处理系统还包括高效过滤器60，

　　高效过滤器60设置于上技术夹层10内，并位于洁净室20的吊顶上。高效过滤器60可以为多

　　个，多个高效过滤器60之间间隔设置，并且，多个高效过滤器60能够覆盖洁净室20的吊顶。

　　经过上述洁净空气处理机组50降温处理后的空气在进入洁净室20内之前可先通过高效过

　　滤器60进行过滤，从而保证进入洁净室20内空气的洁净度。本实施例中，气流组织过程为：

　　上技术夹层10内的空气经过高效过滤器60处理后进入洁净室20内，空气再通过设置于回风

　　夹道40或下技术夹层30或上技术夹层10的洁净空气处理机组50降温处理后，与经过洁净新

　　[0032]应当理解，传统方案中在洁净室吊顶设置风机过滤单元的形式，风机51过滤单元

　　的高度在350mm～400mm，且需要高效过滤器更换及检修空间350mm～400mm，因此传统形式

　　须至少占用洁净室吊顶上侧空间700mm～800mm，此外还需要专用龙骨吊顶及吊杆。而本实

　　施例中，在洁净室20吊顶上仅设置高效过滤器60，高效过滤器60的高度50mm左右，从而能够

　　减少上技术夹层10被占用的空间和检修空间。另外，洁净室20的吊顶可采用普通洁净吊顶，

　　[0033]本实施例中的洁净空气处理机组50，可仅包括一个干式表冷器52和一个风机51，

　　这里的风机51或者也可以为风机墙。或者，作为又一种实施方案，如图3和图4所示，洁净空

　　气处理机组50可由多个洁净空气处理单元501组装而成，具体的，洁净空气处理机组50包括

　　多个风机51和多个干式表冷器52，多个风机51和多个干式表冷器52一一对应设置，洁净空

　　气处理机组50还包括与多个风机51一一对应的壳体54，一组风机51和干式表冷器52设置于

　　一个壳体54内。这时，一个壳体54、一个风机51和一个干式表冷器52组装形成一个洁净空气

　　处理单元501，多个洁净空气处理单元501在拼接时，可通过各自的壳体54之间相互连接，从

　　而使得各洁净空气处理单元501之间相对固定，进而形成洁净空气处理机组50。

　　[0034]在本实施方案中，洁净空气处理机组50由多个洁净空气处理单元501拼接而成，在

　　实际应用时，可根据所需的循环空气量等因素来增加或者减少洁净空气处理单元501的数

　　[0035]当然，在其他一些实施例中，风机51和干式表冷器52之间也可以非一一对应的关

　　系。例如，可以设置多个风机51和一个干式表冷器52，或者，还可以设置一个风机51和多个

　　干式表冷器52，本申请实施例中对于风机51和干式表冷器52的具体实现形式不做限定。

　　[0036]在一些实施例中，参考图6和图7，本实施例中的洁净空气处理机组50还包括过滤

　　器53，过滤器53位于干式表冷器52背离风机51的一侧(如图6所示)，或者，过滤器53也可位

　　于风机51背离干式表冷器52的一侧(如图7所示)，过滤器53能够对经过洁净空气处理机组

　　50的空气进行过滤处理。也就是说，本实施例中的洁净空气处理机组50为风机51、干式表冷

　　器52以及过滤器53组合成的一体式空调机组，不仅能够对空气进行降温处理，还可对空气

　　[0037]在本实施例中，参考图5，洁净空气处理机组50可设置在上技术夹层10内气流经过

　　的部位(图5中C处)或者下技术夹层30内气流经过的部位(图5中B处)或者回风夹道40内气

　　流经过的部位(图5中A处)，均能够对循环的空气起到降温过滤的处理。此外，洁净室20的吊

　　顶还可设置板孔送风口70，以使得洁净室20通过上述板孔送风口70与上技术夹层10连通，

　　上技术夹层10的空气能够通过板孔送风口70进入洁净室20内。本实施例中的气流组织过程

　　为：上技术夹层10内的空气经过板孔送风口70进入洁净室20内，再通过设置于回风夹道40

　　或者下技术夹层30或者上技术夹层10的洁净空气处理单元501降温过滤处理后，与经过洁

　　[0038]作为其他一些实施方案，板孔送风口70也可以为散流器或者百叶风口或者其他形

　　式的末端风口，以使得洁净室20通过散流器或者百叶风口或者其他形式的末端风口与上技

　　[0039]应当理解，本实施例中的洁净空气处理机组50将风机51、干式表冷器52以及过滤

　　器53集成在一起，省去了单独在洁净室20吊顶设置过滤器的工作，洁净室20的吊顶可采用

　　普通洁净吊顶，从而便于节省成本。并且，当洁净空气处理机组50放置于下技术夹层30或者

　　[0040]本实施例中的洁净空气处理机组50，可仅包括一个干式表冷器52、一个过滤器53

　　以及一个风机51，风机51或者也可以是风机墙。或者，作为又一种实施方案，如图8和图9所

　　示，洁净空气处理机组50可由多个洁净空气处理单元501组装而成，具体的，风机51包括多

　　个风机51，干式表冷器52包括多个干式表冷器52，过滤器53包括多个过滤器53，多个风机

　　51、多个干式表冷器52和多个过滤器53一一对应设置，洁净空气处理机组50还包括与多个

　　风机51一一对应的壳体54，一组风机51、干式表冷器52和过滤器53设置于一个壳体54内。这

　　时，一个壳体54、一个风机51、一个干式表冷器52和一个过滤器53组装形成一个洁净空气处

　　理单元501，多个洁净空气处理单元501在拼接时，可通过各自的壳体54之间相互连接，从而

　　使得各洁净空气处理单元501之间相对固定，进而形成洁净空气处理机组50。

　　[0041]在本实施方案中，洁净空气处理机组50由多个洁净空气处理单元501拼接而成，在

　　实际应用时，可根据所需的循环空气量等因素来增加或者减少洁净空气处理单元501的数

　　[0042]当然，在其他一些实施例中，风机51、干式表冷器52以及过滤器53之间也可以非一

　　一对应的关系。例如，可以设置多个风机51、一个干式表冷器52和一个过滤器53，或者，还可

　　以设置一个风机51、一个过滤器53和多个干式表冷器52，或者，还可以设置一个风机51、一

　　个干式表冷器52和多个过滤器53，等等，本申请实施例中对于风机51、干式表冷器52以及过

　　[0043]如图1或图5所示，当洁净空气处理机组50设置于回风夹道40内时，洁净空气处理

　　机组50与回风夹道40的高度方向之间还具有0～90°之间的夹角，也就是说，洁净空气处理

　　机组50可以倾斜放置于回风夹道40内。可以理解的，将洁净空气处理机组50倾斜放置，能够

　　[0044]本申请实施例中的洁净空气处理机组50，通过将干式表冷器52和风机51集成在一

　　起，由于风机51的导流作用，能够使得经过干式表冷器52的气流垂直且速度均匀，从而能够

　　[0045]此外，由于洁净室20的噪音值有要求，单向流和混合流不超过65dB(A)，非单向流

　　不超过65dB(A)。传统方案采用洁净吊顶上设置风机过滤单元的形式紧邻洁净室，且风机过

　　滤单元的单台噪音在53dBA～55dBA，洁净室设置风机过滤单元的数量多，噪音叠加效应明

　　显，因此洁净室的噪音往往超过规范规定的数值，甚至超过70dB(A)。本申请实施例中的洁

　　净空气处理机组50可设置在下技术夹层30、回风夹道40、上技术夹层10等远离洁净室20工

　　[0046]显然，本领域的技术人员可以对本发明实施例进行各种改动和变型而不脱离本发

　　明的精神和范围。这样，倘若本发明的这些修改和变型属于本发明权利要求及其等同技术

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